膜厚测量仪(测量厚度1nm~1.8mm)FTG-上海昊量光电设备有限公司

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膜厚测量仪(测量厚度1nm~1.8mm)

发布时间：2021/6/23 14:52:18

型号： FTG
价格：电议
产地：
采购度： 3261

产品介绍：膜厚测量仪(测量厚度1nm~)是美国Semisonsoft公司的MProbe系列，其薄膜测厚仪测量厚度可以低至1nm，，埃分辨率，非接触式无损快速测量。广泛应用在各种生产或研究中，比如测量薄膜太阳能电池的CIGS层，触摸屏中的ITO层等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。

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标签：膜厚测量仪 膜厚仪 薄膜厚度测量

产品详情

膜厚测量仪-

MPROBE - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY

姓名：魏工(David)
电话：185 0177 0670（微信同号）
邮箱：jiabin-wei@auniontech.com

产品简介：

膜厚测量仪(测量厚度1nm~1.8mm)是美国Semisonsoft公司的MProbe系列，其薄膜测厚仪测量厚度可以低至1nm，厚至1.8mm，埃分辨率，非接触式无损快速测量。广泛应用在各种生产或研究中，比如测量薄膜太阳能电池的CIGS层，触摸屏中的ITO层等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。

工作原理：

膜厚测量仪(测量厚度1nm~1.8mm)的工作原理w当指定波长范围的光照射到薄膜上时，从不同界面上反射的光相位不同，从而引起干涉导致强度相长或相消。而这种强度的振荡是与薄膜的结构相关的。通过对这种振荡拟合和傅里叶变换就可获得样品厚度和相关的光学常数。

比如：

半导体（硅，单晶硅，多晶硅）

半导体化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）

微电子机械（MEMS）

氧化物/氮化物

光刻胶

硬涂层（碳化硅，类金刚石炭）

聚合物涂层（聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）

高分子聚合物

膜厚测量仪(测量厚度1nm~1.8mm)的操作流程为MProbe膜厚测量仪操作简单，只需一键操作即可获得样品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚测量设备可支持不同光谱范围，光谱范围可达200-1700nm，因此可测量厚度范围可从1nm到2mm。设备中无移动组件，所以测量结果几乎是即时得到的；TFCompanion测量软件使得测量过程非常简单且透明，测量历史、动态测量、模拟、颜色分析、直接在样品图像上显示结果。

常用型号：

1、单点膜厚测量——MPROBE-20

MPROBE-20膜厚测量仪是一款台式单点膜厚测量设备，设备操作简单，一键获得样品的厚度和折射率，并可提供不同波段范围（适用于不同厚度薄膜）选择。MPROBE-20具有以下几种型号，客户可根据自己所需的波长范围和薄膜厚度进行选择。

可供选择型号：

型号	波长范围	核心配置	厚度范围
VIS	200nm -1100nm	F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos, 16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp	10nm – 75 μm
UVVISSR	700nm -1100nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp	1nm -75μm
VIS-HR	900nm-1700nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp	1μm-400μm
NIR	200nm-800nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	50nm – 85μm
UVVisF	200nm -1700nm	F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp	1nm – 5μm
UVVISNIR	1500nm-1550nm	F4 Spectro meter, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	1nm -75μm
NIRHR	200nm -1100nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption	10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

2、单点手持膜厚测量——MPROBE HC

MPROBE HC膜厚测量仪是一款基于MPROBE-20平台开发用于测量曲面和大型零件上的涂层，用手动探针代替样品台。

主要参数：

精度	0.01nm或0.01%
准确度	0.2%或1nm
稳定性	0.02nm或0.03%
聚焦点尺寸	0.2mm或0.4mm
样品尺寸	>25mm
厚度范围	0.05-70um

3、聚焦光斑膜厚测量仪——MPROBE 40

MPROBE 40是一款聚焦的小光斑膜厚测量系统，该产品将显微系统和膜厚测量设备结合起来，用于对膜厚的微区测量，光斑可达2μm。该设备集成相机和软件，可精确显示待测位置，并同时显示测量结果。

该设备有不同波长范围可选，可供选择的产品型号如下：

4、原位测量膜厚测量仪——MPROBE 50 INSITU

MPROBE 50 INSITU是一款支持原位测量膜厚测量仪，该设备采用门控数据采集方式因此可以在高环境光的条件下工作。此外该型号膜厚测量仪支持定制以满足不同形状的真空腔。根据可用的光学窗口，支持斜入射和垂直入射。光线可以聚焦样品表面或准直,探测探头可以放置在沉积室光学端口内部或外部，由于该膜厚测量仪没有移动部件，通常测量时间约10ms。

此外该型号还有多种波段范围可选，可供选择型号如下：