皮米精度位移激光干涉仪（可试用）

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皮米精度位移激光干涉仪产品简介：

昊量光电推出的皮米精度位移激光干涉仪quDIS是对纳米别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其独特的测量原理，相对距离的重复精度达到了所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差。此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。

独特的法珀腔+饱和吸收气室构造波长的线性变化的引入在此构造下使得绝对距离的测量成为可能！

干涉传感头产品用途：

激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的，根据反射目标的不同，不同的应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。quDIS的传感器头均基于光纤设计。quDIS为常规情况下的使用提供标准准直仪和定焦传感头，同时根据具体的需要以及恶劣环境下的应用，也设计了响应的特殊传感头。

用于测量高温漂移物体的传感器头的设计

镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头

皮米精度位移激光干涉仪产品特点：

多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用
相对距离和绝对距离测量
完善的全套系统配置
实时输出数字化图像
针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案
长期使用保证稳定性
兼容真空与各种恶劣环境

皮米精度位移激光干涉仪产品优势：

绝对距离高精度测量！
不存在非线性及周期性误差！
相对距离信号稳定性<0.05nm！
工作距离大20m（与传感头相关）
目标大速度1m/s
三个传感接口，可实现多设备同步
探测器分辨率达到1pm

皮米精度位移激光干涉仪应用域：

限环境下振动分析
缓慢漂移及热膨胀检测
精密设备位置控制
纳米位移测量
层状结构中间隙和边缘的测量
位移和振动精度评估

皮米精度位移激光干涉仪参数规格：

干涉仪		传感头
光源	DFB激光器	分辨率	1pm
功率	<400uW	相对距离稳定性	< 0.05nm
波长	1535nm	绝对距离精度	<0.2nm/mm
线宽	<5MHz	带宽	25kHz
传感器通道	3	工作距离	0.1—20m
光纤输入端口	FC Narrow-Key-Slot	目标速度	<1m/s
光纤输入端口	Mating Sleeves	传感头	真空
同步	多台设备同步	传感头	低温