发布时间:2021/8/9 11:08:20
姓名:谷工(Givin)
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◆ 负片图案设计
◆ 基底为10x10mm²,设计紧凑,尺寸稳定性良好
◆ 采用高精度电子束光刻技术制作
◆ 结构尺寸低至100nm
◆ 分辨率可达到3300 lp/mm |
昊量光电推出的高分辨率测试靶Test chart 标准尺系列是由高精度的电子束光刻制作而成,这些图案蚀刻在具有广谱透射(DUV-VIS-NIR)的,基底为一个10×10 mm²石英衬底上。在衬底上施加了高光密度的铬层,之后通过烧蚀铬层,使得结构尺寸可以降低到100纳米的同时保证了设计的精度,这种方式也保证了结构边缘的良好尺寸公差和直线度。其结构为负片图案,且每个靶上的负片图案允许结构透明,而背景被铬层阻挡。同时为配各类显微镜物镜使用,有多种图案可以选择,且所有图案都可以有一个厚度0.17毫米的覆盖玻璃的版本可用。 |
标准载玻片靶 TC-RT01 —— 7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um Pinholes |
通过高分辨率的RT01,可以非常轻松、快速地在传输光下确定目标的分辨率限制。水平和垂直对齐共有 59 条线型,涵盖了精度从每毫米 7.5条线对 到 3300 条线对。 同时结构的简单排列和测试结构尺寸的直接读取确保了直观的处理。此外,还有5个直径在4.0-0.25 um之间的针孔,可以实现微成像光学元件的详细表征 |
西门子星状靶 TC-RT02 —— Resolution testchart with very high precision |
该标准尺由 5 颗西门子星组成, 其特点是星中心的锥形部分制造的宽度低至为 150nm。该测试目标板非常适合于确定具有非常高数值光圈的显微镜物镜的分辨率 |
载玻片检查板TC-CB50 —— CheckBoard of 50 x 50 um² squares |
高分辨率显微镜检查板的特点内部每个正方形均为 50 x 50 平方微米,整体尺寸为 9.0 x 9.0 平方毫米。该靶片非常适合于测试图像偏斜和曲率,以及确定由于直线和锐边导致的图像质量。 |
载玻片针孔靶TC-ST01 —— Stepped rows of Pinholes from 0.18μm-4μm |
该标准尺上提供了直径0.18um到4um的针孔。相同阶梯式针孔间具有足够的暗区,使待测透镜的整个视场变暗。该标准尺特别适用于显微镜透镜的星形测试和光学显影 |
高分辨率测试靶参数规格: |
Pattern Tolerance: | 100nm/cm |
光密度 OD: | OD>8 @ 400nm, 6 @ 550nm, 4.5 @ 750nm, 3.6 @ 1000nm |
光谱范围: | 200 - 2000nm |
基底: | Fused Silica w/Chrome deposit |
尺寸 (mm): | 10 x 10 x 1 |
构造 : | Stainless Steel, 75 x 25 x 1.5mm, microscope slide format |
更新时间:2023/11/11 17:14:10
光纤法布里-珀罗干涉仪型号:FFP-I
单色仪、光谱仪配件型号:PS-2
激光驱动白光光源LDLS型号:EQ-99X
非球面镜|高数值孔径型号:S-LAH64
非球面镜|低数值孔径型号:N-BK7
非球面镜熔融石英型号:FusedSilica
中空回射器阵列型号:AR
Product classification
主营产品:昊量代理的产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件,连续激光器(CW),ns | ps | fs 脉冲激光器,可调谐激光器,激光量测设备,调制器,偏转器,滤波器,空间光调制产品,信号处理,分析设备,光谱仪器,相机系列,光学器件,光栅,光学晶体,光纤器件,位移台,偏转镜,旋转台,冷原子,量子光学产品,材料分析设备,光学检测设备,显微成像系统及组件,光学隔振平台,THz产品,X射线产品,等
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