24小时服务热线: 021-51083793

非接触式薄层电阻测试仪

非接触式薄层电阻测试仪

发布时间:2023/1/31 16:28:59

  • 型号:
  • 价格: 电议
  • 产地:
  • 采购度: 70
产品介绍:昊量光电新推出用于导电薄膜和薄金属层方块电阻测量的非接触式方阻测量仪EddyCus TF Series,这款非接触式方块电阻测量仪可以非接触式实时测量,对导电薄膜和金属方块电阻精确测量,表征已被隐藏和封装的导电层,并把测量数据保存和导出。
分享到:
产品详情
 非接触式薄层电阻测试仪

 

昊量光电新推出用于导电薄膜和薄金属层方块电阻测量的非接触式方阻测量仪EddyCus TF Series,这款非接触式方块电阻测量仪可以非接触式实时测量,对导电薄膜和金属方块电阻精确测量,表征已被隐藏和封装的导电层,并把测量数据保存和导出。

 

非接触式方块电阻测试仪主要测试对象:

  • 镀膜建筑玻璃,如LowE

  • 显示器,触摸屏和平板显示器

  • OLED和LED

  • 智能玻璃

  • 石墨烯层

  • 光伏晶圆和电池

  • 半导体晶片

  • 金属化层和晶圆金属化

  • 电池电极

  • 导电涂布纸和导电纺织品

 

非接触式单点方阻测试仪EddyCus TF Lab 2020SR

 

EddyCus TF Lab 2020SR是非接触式单点薄层电阻测量系统。该装置包含一个涡流传感器组,感应弱电流到导电薄膜和材料。试样中的感应电流产生与测量对象的片电阻相关的电磁场。电涡流技术不依赖于表面特征或形貌。此外,它不需要如已知的2或4点探针测试(2PP, 4PP)或霍尔效应或范德波测量一样进行任何形式的充分的样品接触或备样。它既不需要设置测试结构,也不受表面粗糙度或非导电封装或钝化层的影响。此外,测量不会对被测薄膜产生物理影响。涡流仪器不存在机械磨损,使用寿命长。它的独立性与接触质量和它的高速允许实现高重复性和准确性,有利于在研发和测试实验室的各种薄膜的系统质量保证。EddyCus工具可以由具有各种数据记录和导出功能的SURAGUS软件驱动,也可以由SURAGUS软件开发套件驱动的客户软件驱动。

软件和设备控制:

  • 非常用户友好的软件

  • 直观的触摸显示导航

  • 实时测量板材电阻和层厚

  • 软件辅助手动映射选项

  • 各种数据保存和导出选项

 

非接触式方块电阻测试仪产品规格表

Measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates Foils, glass, wafer, etc.
Substrate area 8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides)
Max. sample thickness / sensor gap 3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample)
Thickness measurement range of metal films (e.g. copper) 2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance (cf. our calculator))
Device dimensions (w/h/d) 11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight 10 kg
Further available features Sheet resistance measurement / metal thickness monitor
  VLSR LSR MSR HSR VHSR
  6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq] 0.0001 – 0.1 0.1 – 10 0.1 – 100 10 – 2000 1,000 – 200,000
Accuracy / Bias ± 1% ± 1 – 3% ± 3 – 5%
Repeatability (2σ) < 0.3% < 0.5% < 0.3%
VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistanc

非接触式方阻成像仪EddyCus TF Map 2530SR




EddyCus TF Map 2530SR是一种非接触式薄层电阻映射系统。该设备配备了一个运动的涡流传感器,每次扫描可测量高达90000 (300 x 300)测量点的方块电阻。由于这种技术不需要与标本进行物理接触,该设备可以在飞行运动中进行测量。此外,它具有很高的准确性,因为它是独立于任何接触质量。样品中测量点的高密度确保了没有遗漏任何效果或缺陷。此外,综合分析功能支持生产和研发实验室中各种薄膜的系统质量保证。

产品规格:

Measurement technology Non-contact eddy current sensor
Substrates Wafer, glass, foils etc.
Max. scanning area 12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request)
Edge effect correction / exclusion 2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements)
Max. sample thickness / sensor gap 3 / 5 / 10 / 15 mm (defined by the thickest sample)
Thickness measurement of metal films (e.g. aluminum, copper) 2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ())
Scanning pitch 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm (other upon request)
Measurement points per time (square shaped samples) 100 measurement points in 0.5 minutes
10,000 measurement points in 3 minutes
Scanning time 8 inch / 200 mm x 200 mm in 1 to 10 minutes (1 – 10 mm pitch)
12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 6 minutes (2.5 – 25 mm pitch)
Device dimensions (w/h/d) 31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 mm x 486 mm x 850 mm
Weight 90 kg
Further available features Metal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor

 

 

 

  VLSR LSR MSR HSR VHSR
  6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq] 0.0001 – 0.1 0.1 – 10 0.1 – 100 10 – 2,000 1,000 – 200,000
Accuracy / Bias ± 1% ± 1 – 3% ± 3 – 5%
Repeatability (2σ) < 0.5% < 1% < 0.5%
VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistance

便携式方块电阻测试仪

EddyCus TF便携式1010SR专用于工业环境中的接触片电阻测量。它使各种行业的手工质量保证成为可能。

Measurement technology Eddy current sensor
Measurement mode Realtime at constant distance  / contact
Substrates Glass, foils etc.
Substrate sizes Flat samples > 150 mm x 150 mm (6 inch x 6 inch)
Curved editions are available for several applications (windshields etc.)
Measurement spot / high sensitivity zone 40 mm diameter (1.6 inch)
Power Lithium ion battery up to 20 h
Sheet resistance range (five setups available) Type very low:    0.001 – 0.1 Ohm/sq
Type low:             0.04 – 0.1 Ohm/sq
Type standard:        0.3 – 30 Ohm/sq
Type high:               0.3 – 50 Ohm/sq
Type very high:       0.3 – 100 Ohm/sq
Thickness measurement of thin films (e.g. copper) Additional feature, available range is 5 nm – 500 µm (in accordance with sheet resistance)
Emissivity range Additional feature, available range is 0.003 – 0.5
Accuracy (for planar solid surfaces, e.g. glass) 0.001 – 50 Ohm/sq:  < 3%
50 – 100 Ohm/sq:     < 5%
DISPlay 2.8 inch colored touch screen
Device dimensions (w/h/d) 3.5” x 7” x 1.9” / 87 mm x 178 mm x 48 mm
Weight 340 g
Interfaces Bluetooth (optional) + data center

 

更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电:

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

您可以通过我们昊量光电的网站www.auniontech.com了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。

更新时间:2023/11/11 17:14:20

在线留言

在线咨询,尊敬的客户您好,我们会尽快回复您的咨询!

  • 您感兴趣的产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 留言内容:

  • 验证码:

温馨提示

1.遵守中华人民共和国有关法律、法规,尊重网上道德,承担一切因您的行为而直接或间接引起的法律责任。

2.请您真实的反映产品的情况,不要捏造、诬蔑、造谣。如对产品有任何疑问,也可以留言咨询。

3.未经本站同意,任何人不得利用本留言簿发布个人或团体的具有广告性质的信息或类似言论。

相关文章
相关产品
产品分类

Product classification

联系人:马经理服务热线:021-51083793地址:上海 上海市虹梅路2007号6号楼3楼

主营产品:昊量代理的产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件,连续激光器(CW),ns | ps | fs 脉冲激光器,可调谐激光器,激光量测设备,调制器,偏转器,滤波器,空间光调制产品,信号处理,分析设备,光谱仪器,相机系列,光学器件,光栅,光学晶体,光纤器件,位移台,偏转镜,旋转台,冷原子,量子光学产品,材料分析设备,光学检测设备,显微成像系统及组件,光学隔振平台,THz产品,X射线产品,等

版权所有©上海昊量光电设备有限公司, All Right Reseverd ICP备案号: 沪ICP备08102787号-5 总访问量:490015 管理登录 阿仪网设计制作,未经允许翻录必究

4

阿仪网推荐收藏该企业网站