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发布时间：2023/7/18 13:54:03
ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空气轴承运动系统，6-D指运动的6个维度；线性，直线度，平面度，俯仰，偏航和滚动。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能证明文件。6-D Nano Precision® 是指在纳米级精度下运动的身体的所有 6 个自由度的性能证明文件。空气轴承系统适用于制造、检测/维修和计量等各种应用领域。ALIO Industries空气轴承运动系统，是一种用气浮导轨或空气轴承做支撑的精密运动装置，适用于下一代TRUE NANO®精密应用。空气轴承系统提供出色的定位性能，适用于高精度要求的应用。空气轴承系统适用于多个行业，包括光伏、半导体、喷墨沉积、光刻和光学检测等领域。
零摩擦和无振动的平滑移动
速度稳定超高精度的移动
运动不产生颗粒，适用于无尘环境
轴承损耗低，表面不易损坏
由于两个轴都使用相同的高精度花岗岩底座作为参考，因此可以在数百毫米（甚至米）的行程范围内实现仅一微米的平面度。
这种高刚性平面 xy 空气轴承运动系统系列提供亚微米精度和 +/- 100 纳米双向可重复性，即使在批量机器的批量生产中也是如此生产。凭借 200 毫米至 800 毫米的标准版本，以及可定制超过 3 米的 X 和 Y 行程，该产品系列在任何类型的测量/计量应用和半导体行业中都具有True Nano®精度。
强大的线性直接驱动器和空气轴承使这些运动系统非常适合高精度、高吞吐量的应用，这些应用需要平滑的连续扫描或非常长距离的快速步进和稳定过程。
ALIO 的直线电机驱动、带空气轴承平衡的垂直 Z 升降平台系列的特点是外形低矮且行程极长。使用高精度交叉滚子轴承和线性编码器，平台配备无摩擦空气轴承气缸。与 GeoSymmetric 系列平台类似，这些长行程 Z 平台具有配重、电机、轴承和编码器，所有这些都放置在平台的大致中心线上。有效负载可以直接安装到舞台的表面。
Z-ABCB 系列——配备无摩擦空气轴承气缸平衡装置——可在 200 毫米或以上承载高达 25 公斤的有效载荷。
当需要很高的旋转精度时，制造商可以从 ALIO 的空气轴承旋转平台系列中进行选择。空气轴承允许载物台在没有机械接触的情况下移动，因此移动无摩擦且无磨损。即使在高速或旋转平台垂直安装时，摆动、偏心或跳动等误差也尽可能消除，以接近完美、平滑的 360 度运动。
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上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。
更新时间：2023/11/11 17:14:22
ALIO定制化控制运动位移台型号：精密定位平台 | 显微载物台
Product classification
主营产品：昊量代理的产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件，连续激光器(CW),ns | ps | fs 脉冲激光器,可调谐激光器,激光量测设备,调制器,偏转器,滤波器,空间光调制产品,信号处理,分析设备,光谱仪器,相机系列,光学器件,光栅,光学晶体,光纤器件,位移台,偏转镜,旋转台,冷原子,量子光学产品,材料分析设备,光学检测设备,显微成像系统及组件,光学隔振平台,THz产品,X射线产品,等
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