可定制气体轴承线性位移台LT-上海昊量光电设备有限公司

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可定制气体轴承线性位移台

发布时间：2019/10/4 15:33:26

型号： LT
价格：电议
产地：
采购度： 1187

产品介绍：空气轴承位移平台可根据客户要求定制不同类型的位移平台LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承，该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比，采用气体为润滑剂，因此所有运动都是无接触的

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空气轴承位移平台

可根据客户要求定制不同类型的位移平台

LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承，该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比，采用气体为润滑剂，因此所有运动都是无接触的，因此在整个使用寿命之内，设备的性能保持不变，并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动，无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面，可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。

上海昊量光电设备有限公司推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时，精度可达到300nm，平移台拥有优异的分辨率，重复精度可达到100nm。

	Units	LS100	LS200	LS300	LS400	LS500	LS1000	LS1500
travel	mm	100	200	300	400	500	1000	1500
load capacity	kg	>65	>65	>65	>65	>65	>65	>65
accuracy	μm	±0.3	±0.5	±0.5	±0.5	±0.5	±1.0	±1.0
repeatability	μm	±0.1	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2	±0.4	±0.4
flatness	μm	±0.2	±0.4	±0.5	±1	±1.5	±3	±5
pitch	μrad	±4	±8	±12	±13	±14	±29	±39
roll	μrad	±4	±8	±12	±13	±14	±29	±39
yaw	μrad	±4	±8	±12	±13	±14	±29	±39

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