压电促动器（亚纳米级）

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压电促动器（亚纳米级）

高分辨率！亚纳米级压电促动器！

AU-DPT、AU-MTP和AU-NPS-Z系列为高分辨率的直线压电陶瓷促动器。在126mm的行程中可达到亚纳米分辨率，并且拥有极高的线性度和近乎完美的重复性。该系列压电陶瓷促动器无摩擦，已加载预紧力，弥补了叠堆式压电陶瓷不能承受拉力的不足的同时可提供较大的推力，在120mm的行程中可推力可达到600N。

压电促动器、叠堆压电陶瓷促动器、带预紧陶瓷堆叠式压电促动器、柔性机构促动器、Nanopositioning Actuator/Translator

压电促动器采用以加预载力的堆叠式压电陶瓷，在提供较大推力的同时还可以承受一定的压力，弥补了堆叠式压电陶瓷不能承受压力的不足。上海昊量光电设备有限公司推出的压电促动器拥有极高的分辨率，在126mm的行程中可达到亚纳米分辨率，并且拥有极高的线性度和近乎完美的重复性。

上海昊量光电设备有限公司推出的压电陶瓷促动器主要包含以下几类：

①闭环高精度压电陶瓷促动器

闭环压电促动器主要包括AU-DPT-D、AU-DPT-E、AU-NPS-Z-15B和AU-NPS-Z-15L这几款产品。

AU-DPT-D是一款内置电容反馈系统的压电促动器，使其拥有亚纳米的分辨率，并且拥有极高的线性度和近乎完美的重复性，极低的蠕变特性和迟滞性。AU-DPT-D可提供30/50/70/110mm四种不同的闭环行程，材质为不胀钢（0.35nm/K CTE）具有很好的热稳定性。内置预载力的堆叠式压电陶瓷，在整个行程中可提供高达60kg的移动质量，并且有较低的电子噪声和高的线性度。此外还提供超高真空版本，工作压强范围可从10 ^-3 到 10 ^-10 Torr。

AU-DPT-E是AU-DPT-C的升级产品，可提供20/50/110mm三种不同行程的版本，与AU-DPT-D性能相似但其拥有更小的直径。同时AU-DPT-E系列也提供超高真空版本，工作压强范围可从10 ^-3 到10^-9 Torr。

AU-NPS-15L是高荷载大推力的压电陶瓷促动器。该促动器内置电容位移传感器，在全15mm行程中分辨率可达到亚纳米级别，迟滞性<0.02%，直线误差为<0.01%。采用不胀钢材质及特殊的设计，具有极低的热漂移和高的刚度，因此具有极高的稳定性和高的负载，其负载可达到15kg。采用独特的优化机械设计，空载自振频率可到达8000Hz。

NPS-Z-15L Ultra High Load Closed Loop 15 Micron Actuator

②开环压电陶瓷促动器

开环压电促动器主要包括AU-MPT系列，该压电促动器为有预载力的压电陶瓷，不但可以提供较大的推力还可以承受一定的拉力。AU-MTP系列促动器可提供15/30/45/75/105mm五种不同行程设备。采用不锈钢材质以及极高刚度的设计，这一特点使其促动器在Z轴方向加载可达到10kg。如果需要闭环系统，AU-MTP系列促动器可以和位置检测系统结合使用，提供亚纳米的分辨率。

MTP 15/30/45/75/105

③闭环柔性机构促动器

AU-NPS-15B是内置电容位移传感器的具有柔性机构的压电促动器。柔性铰链导向机构可以去除侧向力，一定程度上避免了侧向力对促动器的损害。采用不胀钢材质，拥有极佳的热稳定性。该促动器拥有极高的分辨率在15mm的行程中分辨率可达到亚纳米级别。内置位移传感器可消除迟滞性、非线性和蠕变性。该产品常规的迟滞性<0.005%,直线性误差<0.01%。空载自振频率可达到2400Hz，拥有极快的响应速度。

NPS-Z-15B Flexure Guided 15 Micron Actuator

u 主要特点

l 多种外径尺寸可供选择

l 亚纳米分辨率

l 加载预载力可动态使用

l 可提供超高真空、硬辐射、低温非磁性和高温版本

l 低的迟滞、蠕变性

l 无摩擦

l 柔性机构导向

l 低噪声、高线度

l 亚纳米重复性

u 主要应用

干涉度量学、光束校准、空腔调谐、计量学、显微操作、制作纳米位移设备、度量学等。

u 主要参数

型号	Material		Size(mm)		close/open loop range		Pressure	Full Range Push/pull Force/max load/N		Position Resolution
AU-DPT- D-20	Super Invar		54.5(L)′ 22(D)		30 mm	40 mm	1ATM	600/250/3500		0.09 nm
AU-DPT- D-40	Super Invar		72.5(L)′ 22(D)		50 mm	66 mm	1ATM	600/250/3500		0.12 nm
AU-DPT- D-60	Super Invar		90.5(L)′ 22(D)		70 mm	93 mm	1ATM	600/250/3500		0.15 nm
AU-DPT- D-100	Super Invar		126.5(L)′22(D)		110mm	146mm	1ATM	600/250/3500		0.2 nm
AU-DPT-D-20-UHV	Super Invar		54.5(L)′ 22(D)		30 mm	40 mm	10^-3 to 10^-10Torr	600/250/3500		0.35 nm
AU-DPT-D-40-UHV	Super Invar		72.5(L)′ 22(D)		50 mm	66 mm	10^-3 to 10^-10Torr	600/250/3500		0.4 nm
AU-DPT-D-60-UHV	Super Invar		90.5(L)′ 22(D)		70 mm	93 mm	10^-3 to 10^-10Torr	600/250/3500		0.5 nm
AU-DPT-D-100-UHV	Super Invar		126.5(L)′22(D)		110mm	146mm	10^-3 to 10^-10Torr	600/250/3500		0.8 nm
AU-DPT-E-20	Super Invar		42.2(L)′20(D)		20 mm	26 mm	1ATM	600/200/3500		0.2 nm
AU-DPT-E-50	Super Invar		76.7(L)′20(D)		50 mm	66 mm	1ATM	600/200/3500		0.3 nm
AU-DPT-E-110	Super Invar		127.8(L)′20(D)		110mm	145mm	1ATM	600/200/3500		0.4 nm
AU-DPT-E-20-UHV	Super Invar		42.2(L)′20(D)		20 mm	26 mm	10^-3 to 10^-9Torr	600/200/3500		0.4 nm
AU-DPT-E-50-UHV	Super Invar		76.7(L)′20(D)		50 mm	66 mm	10^-3 to 10^-9Torr	600/200/3500		0.6 nm
AU-DPT-E-110-UHV	Super Invar		127.8(L)′20(D)		110mm	145mm	10^-3 to 10^-9Torr	600/200/3500		0.8 nm

型号	Material		Size(mm)		open loop range		Maximum load	Stack capacitance (mF)		Stiffness (N/mm)
AU-MTP-15	Stainless steel		30(L)′10(D)		15 mm		10 kg	1.8		50
AU-MTP-30	Stainless steel		50(L)′10(D)		30 mm		10 kg	3.6		25
AU-MTP-45	Stainless steel		70(L)′10(D)		45 mm		10 kg	5.4		16
AU-MTP-75	Stainless steel		110(L)′10(D)		75 mm		10 kg	9.0		10
AU-MTP-105	Stainless steel		150(L)′10(D)		105 mm		10 kg	12.6		7
型号参数				AU-NPS-Z-15B					AU-NPS-Z-15L
Material				Super Invar (Bright nickel plated)					Super Invar (Bright nickel plated)
Size (mm)				53 long x 20 diameter					53.5 height x 60 diameter
Cable length									2000 mm
Range（typical）mm				± 8.0					± 8
Resonant frequency: 0g load				2400 Hz					8000 Hz
Maximum load				0.5 kg					15 kg
Position noise /nm_rms		Fast		0.56
		Medium		0.33					0.3
		Slow		0.25					0.2
Hysteresis (peak to peak)		Minimum
		Typical		0.005%					0.02%
		Maximum		0.01%					0.03%
Linearity error (peak)		Minimum
		Typical		0.01%					0.01%
		Maximum		0.02%					0.02%