发布时间:2019/11/23 10:54:01
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高精度电动升降台
电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置,通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成:位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏,主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。
上海昊量光电设备有限公司推出的高精度大行程电动平移台,利用42mm的五相步进电机驱动,可实现低振动高度的运动。传动螺杆采用滚珠丝杠实现高速平稳运动,极高的螺杆品质使平移台拥有极佳的分辨率、定位精度。采用超高等级LM滑轨,在确保了升降台,具有超高的运动性能。该系统采用光栅尺闭环控制,在确保大行程的同时,分辨率达到了50nm。目前可提供给从200-400mm不同行程的平移台,速度可达到20mm/s,载重量高达30kg。
主要特点
l 高分辨率
l 高重复定位精度
l 采用滚珠丝杠,实现高精度定位
l 采用高等级交叉滚珠导轨,具有超高运动性能
u 主要应用
超精密激光加工、超精密三维扫描测量、全自动计量仪器检测设备、工业自动化等领域。
主要参数:
型号 | 行程(mm) | 负载(N) | 分辨率(nm) | 重复定位精度(nm) | 移动速度(mm/s) | ||||
FC-414 | FC-111 | FC-114 | FC-414 | FC-111 | FC-114 | 20 | |||
FS-3300X | 300 | 294 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | |||
FS-3400X | 400 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | ||||
FS-2200X | 200 | 500 | ±1000 | ||||||
FS-2300X | 300 | 500 | ±1000 | ||||||
FS-2400X | 400 | 500 | ±1000 |
更新时间:2023/11/11 17:14:01
小型微焦点X射线源型号:MICRO
DMD无掩膜光刻机型号:SMART PRINT UV
高光谱成像自动在线分选系统型号:SPECIMONE
40KHz高速斩波器型号:Optical Chopper
压电光纤/拉伸型光纤/大相位延迟量相位调制器型号:调制器
石墨烯CVD制备设备型号:石墨烯CVD
滑动式二硫化钼CVD制备设备型号:CVD
X射线聚焦镜型号:X射线聚焦镜
Product classification
主营产品:昊量代理的产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件,连续激光器(CW),ns | ps | fs 脉冲激光器,可调谐激光器,激光量测设备,调制器,偏转器,滤波器,空间光调制产品,信号处理,分析设备,光谱仪器,相机系列,光学器件,光栅,光学晶体,光纤器件,位移台,偏转镜,旋转台,冷原子,量子光学产品,材料分析设备,光学检测设备,显微成像系统及组件,光学隔振平台,THz产品,X射线产品,等
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